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內地首台國產商業電子束光刻機「羲之」已進入應用測試

14/8/2025 11:16
《杭州日報》報道,近日全國首台國產商業電子束光刻機「羲之」已進入應用測試,精度比肩國際主流設備。

報道指,在測試現場,浙大餘杭量子研究院相關團隊忙著進行應用測試,電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數,形容光刻機是一支能在頭髮絲上,雕刻出整座城市地圖的「納米神筆」。

報道表示,「羲之」是研究院自主研發的新一代100kV電子束光刻機,目前已正式投入市場。



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