內地首台國產商業電子束光刻機「羲之」已進入應用測試

14/8/2025 11:16

《杭州日報》報道，近日全國首台國產商業電子束光刻機「羲之」已進入應用測試，精度比肩國際主流設備。

報道指，在測試現場，浙大餘杭量子研究院相關團隊忙著進行應用測試，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數，形容光刻機是一支能在頭髮絲上，雕刻出整座城市地圖的「納米神筆」。

報道表示，「羲之」是研究院自主研發的新一代100kV電子束光刻機，目前已正式投入市場。